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平行密封型門閥XGTP系列

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平行密封型門閥XGTP系列

發布日期：2020-07-08 作者：屹誠 點擊：


SMC最新推(tui)出了一款平行(xing)密封型門閥XGTP系列。產品采用(yong)平行(xing)密封結構(gou)，可對(dui)應300mm晶圓。適用(yong)于(yu)半導體裝置的真空工藝腔(qiang)室與(yu)傳輸(shu)腔(qiang)室之間的密封。


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產品參數

???◇ 長壽命：300萬次（常(chang)溫時）

???◇ 低發塵：發塵量減少到1/5以下（與舊型號相比）

???◇ 省氣：耗氣量減少22%

???◇ 輕量：14kg（盒式）

???◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm

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平行密封構造

▼門上升、下降的直線動作和門開(kai)閉的夾(jia)緊(jin)采(cai)用平(ping)行密封（L motion）構造(zao)，降低了摩擦系數，可大幅減少發塵量并延長使用壽命(ming)。

1562555006506930.gif


應用場合

▼半導體加工過(guo)程中，針對(dui)各(ge)工藝腔(qiang)室之間的隔離。

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